京都工芸繊維大学 設計工学系 公開講演会  MEMS センサが切り開く先進社会

主催:京都工芸繊維大学 設計工学系

共催:京都工芸繊維大学 創造連携センター事業協力会

日 時 平成26年11月28日(金) 16:10~17:40
場 所 京都工芸繊維大学 松ヶ崎キャンパス 西部構内 13号館(総合研究棟)4階多目的室
(※キャンパスマップをご覧ください)
概 要

EngineeringDesign141002半導体技術を利用し微小な機械構造を作製するMEMS プロセス技術とその設計手法について概説するとともに、主要なMEMS デバイスである各種センサの携帯端末などへの応用状況と、社会へのインパクトを概観する。また、MEMS デバイスの信頼性設計に必要な、シリコン材料の疲労破壊の研究や、疲労試験の標準化の取組みについても説明する。

【講師】
池原 毅 氏
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
ネットワークMEMS 研究チーム

講師略歴:
1993年東北大学理学研究科物理学専攻修了。1993~99年、横河電機センサ研究所にて圧力センサ等MEMSデバイスの開発に従事。1999年から産業技術総合研究所にて光MEMS、質量センサ、振動デバイス、シリコン疲労試験などの研究を行い、現在に至る。 2002~03年、経済産業省研究開発調査官併任。2011~13年、日本大学工学部非常勤講師兼任。博士(理学)

対 象 京都工芸繊維大学の大学院生・学部生・教職員・一般
参加方法 事前申し込み不要、入場無料
問い合わせ 京都工芸繊維大学 先端ファイブロ科学部門 森本 一成
TEL:075-724-7482